Что такое вакуумный фланец?
Вакуумный фланец — это важный компонент, используемый в вакуумных системах для соединения различных частей оборудования с сохранением герметичности. Это пластинчатый элемент, который может быть круглым или квадратным и имеет резьбовые отверстия или канавки для болтовых соединений. Вакуумные фланцы играют важную роль в создании вакуумной среды в системе, соответствуя таким стандартам, как NW, KF и JIS.
Использование вакуумных фланцев
Вакуумные фланцы находят применение в отраслях, где для своих процессов требуется вакуумная среда, в том числе:
1. Полупроводниковая промышленность
Условия вакуума имеют решающее значение для изготовления пластин в полупроводниковой промышленности, где выполняются такие процессы, как осаждение и травление. Вакуумные фланцы обеспечивают изоляцию камеры от примесей, позволяя вводить необходимые газы и реагенты.
2. Оптическая промышленность
В производстве оптического оборудования вакуумные фланцы незаменимы в процессе нанесения покрытий на такие компоненты, как линзы и зеркала, обеспечивая точное и равномерное нанесение тонких пленок для улучшения оптических характеристик.
3. Генерация электроэнергии
Вакуумные фланцы используются в паровых турбинах внутри конденсаторов для преобразования пара обратно в воду, поддерживая вакуум, который повышает эффективность и производительность.
4. Исследования и разработки материалов
В НИОКР, особенно в области физики и химии, вакуумные фланцы имеют решающее значение для проведения экспериментов в условиях вакуума, чтобы предотвратить загрязнение и точно изучить свойства материалов.
Принципы работы вакуумных фланцев
Вакуумные фланцы обеспечивают герметичность вакуумных систем с помощью прокладок или уплотнений на стыках, предотвращая внешнюю утечку газа. Для их изготовления используются такие материалы, как нержавеющая сталь (например, SUS316L, SUS304) или никелевые сплавы, а тефлоновые уплотнения или медные прокладки часто используются в качестве уплотнительных материалов для достижения оптимальной герметичности.
Типы вакуумных фланцев
Вакуумные фланцы классифицируются по их стандартам и областям применения, включая:
1. Фланцы KF и NW
Эти модульные фланцы подходят для приложений среднего и высокого вакуума, используя уплотнительные материалы и зажимы для герметичных соединений, что делает их идеальными для систем, требующих частой перенастройки.
2. Conflat (фланец CF)
Вакуумные фланцы CF предназначены для применения в условиях сверхвысокого вакуума, в них используются металлические прокладки для соединений, выдерживающих циклическое воздействие температур и химическую коррозию, что обеспечивает высокий уровень герметичности.
3. Фланец ANSI
Соответствуя Американскому национальному институту стандартов, эти фланцы используются в системах низкого вакуума и трубопроводах общего назначения, обычно соединяясь с помощью болтов и гаек.
4. Фланец JIS
Стандартные фланцы JIS широко распространены в вакуумном оборудовании, предлагая стандарты для широкого спектра промышленных продуктов и технологий.