Что такое двухосевой позиционирующий столик?

Конфигурация оборудования обычно состоит из столиков в каждом направлении оси, установленных друг на друга. Двухосевой позиционирующий столик (стадия оси XY) имеет две оси: ось X для перемещения влево/вправо и ось Y для вертикального перемещения. Использование этого столика имеет преимущество в упрощении позиционирования.

Точность и характеристики различаются в зависимости от системы направляющих столика и механизма подачи, поэтому необходимо выбрать столик, который лучше всего подходит для применения.

Применение двухосевых позиционирующих столиков

Основные области применения 2-осевых стадий — производство полупроводниковых приборов и микроскопическое наблюдение, требующее позиционирования. Существуют различные типы стадий с точностью позиционирования от низкой до высокой в зависимости от направляющей системы и механизма подачи, и они имеют различные характеристики.

Принципы двухосевых стадий позиционирования

Двухосевые позиционирующие ступени состоят из «направляющего механизма» и «механизма подачи». Поскольку характеристики каждого механизма различаются в зависимости от его типа, ниже приведено описание типичных видов ступеней.

Направляющий механизм

Тип паза «ласточкин хвост»: Тип паза «ласточкин хвост» представляет собой направляющий механизм, в котором трапециевидные пазы «ласточкин хвост» и «мама» скользят вместе.
Система скрещенных роликов: Система, которая движется за счет линейного контакта между роликом и направляющей с V-образной канавкой, обеспечивая высокую жесткость. Она также подходит для точного позиционирования благодаря низкому трению и минимальной скорости подачи.
Шариковый тип: Это механизм, который движется за счет контакта между R-образной канавкой, обработанной по дуге окружности, и шариком, что обеспечивает хороший контакт между R-образной канавкой и шариком и стабильную грузоподъемность во всех направлениях. Точность движения не значительно отличается от системы с перекрестными роликами и также подходит для точного позиционирования.

Механизм подачи

Реечная передача: Этот механизм подачи объединяет рельс с нарезанными зубьями, называемый «реечным механизмом», и шестерню, называемую «шестерней». Он характеризуется способностью быстро перемещать платформу, но не подходит для высокоточного позиционирования.
Винт подачи: Это винтовой механизм подачи, который использует взаимосвязь между наружной и внутренней резьбой. Он может подавать ступень с разрешением шага винта, обеспечивая точную подачу, но скорость подачи низкая, что делает его непригодным для позиционирования на больших ходах.
Микрометр: Этот механизм может подавать ступени с большей точностью, чем подающий винт. Его внутренняя структура почти такая же, как у подающего винта, но он также оснащен шкалой для точного определения величины перемещения. Скорость подачи также низкая, поэтому он не подходит для позиционирования на больших ходах.

Выберите комбинацию, которая лучше всего подходит для вашего приложения, и настройте ступени позиционирования с двумя осями из приведенных выше вариантов руководства и механизма подачи.

Работа ступеней позиционирования с двумя осями не ограничивается ручным позиционированием; их также можно использовать в качестве ступеней позиционирования с двумя осями, способных выполнять автоматическое позиционирование, при этом каждая ось приводится в движение двигателем. В этом случае, поскольку точность позиционирования определяется типом механизма подачи и разрешением приводного двигателя, выбор характеристик двигателя также имеет важное значение.

Обычно серводвигатели или шаговые двигатели используются, когда требуется точное позиционирование.